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确定化学机械研磨工艺研磨时间的方法

2006年 应用技术
  • 成果简介
　　本发明公开了一种确定化学机械研磨工艺研磨时间的方法，它可以根据模拟公式计算出当前新产品的条件键值，进而可以计算出研磨时间，这样不但可以提高条件键值的准确性，提高良品率，而且可以节省成本。
　　该方法的关键是根据现有产品的信息建立化学机械研磨的条件键(key)的模拟公式：key＝(pre*(1-k1)+target*k1+(k1-1/M(p))*H)/100，其中pre是产品的前膜厚...
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